安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25G15C 濕度55%Rh=10%Rh下使用。

1、 水：不需裳

2、 電：AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、 '：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帀有寶塔接頭，可自菱改制成為雙卡套接頭）

4、 工作臺：尺寸1200mmx600mmx700mm,承重300kg以上

5、 通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、 雙層殼體，爐膛釆用高純氧化鋁纖維，設(shè)有風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體表面溫度＜55°Co

2、 內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，同時延長使用壽命。

3、 PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序。

4、 已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、 電源：AC 220V 50Hz 60Hz 5KW

2、 氧化鋁管：外徑060mm，內(nèi)徑054mm，長1000mm

3、 加熱元件:1750*C級硅鋁棲

4、 加熱區(qū)域：457mm

5、 工作溫度：高1600‘C，連續(xù)800-1500‘C

6、 升降溫速率:10*C/min （＜1200*0,5°C mm （＞1200°C）

7、 控溫精度：

8、 真空度：lO-’torr （機(jī)械泵），lO-'torr （分子泵）

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：590mm X490mmX 760mm ；重熨：150kg

標(biāo)準(zhǔn)酉I件

1 氧化鋁管

1根

2 氧化鋁管堵

2個

3 不銹鋼法蘭

1套

可迭酉I件

1、 移動爐架

2、 波紋管

3、 數(shù)字真空計(jì)

4、 KF25轉(zhuǎn)接頭

5、 不銹鋼卡套接頭