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簡要描述：SG-O光炎量子效率分析儀光傳感器晶圓測試儀是一款CIS/ALS/Light-Sensor晶圓測試儀，它結(jié)合了高度均勻的光源和半自動晶圓探測器。
產(chǎn)品型號： SG-O
所屬分類：光焱量子效率測量系統(tǒng)
更新時間：2024-10-10
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
| 品牌 | 其他品牌 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池 |
|---|
提供您在CIS/ALS/光傳感器晶圓級測試中所需的一切。
SG-O光炎量子效率分析儀光傳感器晶圓測試儀是一款CIS/ALS/Light-Sensor晶圓測試儀，它結(jié)合了高度均勻的光源和半自動晶圓探測器。高度均勻光源可以提供從400nm到1700nm的連續(xù)白光光譜，以及在許多不同波長下具有一定FWHM的單色光輸出。探測器可以處理大。200mm晶圓尺寸和尺寸大于1cmx1cm的單芯片。SG-O集成了超低噪音熱卡盤，可提供 -60°C至180°C的溫度范圍，具有快速的升溫速度和穩(wěn)定性。SG-O提供您在CIS/ALS/光傳感器設(shè)計驗證或工藝良率檢查中所需的一切。
SG-O光炎量子效率分析儀光傳感器晶圓測試儀特點：
●高度均勻的光源
從 UV 到 SWIR 的寬光譜范圍
超過50mmx50mm區(qū)域的高度均勻性超過98%
超穩(wěn)定光強度，可維持不穩(wěn)定性<0.2%長達(dá)10小時以上
高光強動態(tài)范圍，高達(dá)140dB
●可編程自動探測器
200mm~10mm晶圓或芯片處理能力
用于準(zhǔn)確可靠的DC / CV、RF測量
穩(wěn)定的功能顯微鏡系統(tǒng)
整合硬件控制面板
自動晶圓裝載機
智能晶圓映射
●寬溫低噪音卡盤
模塊化卡盤
-80°C至180°C的寬溫度范圍
*CDA熱控制技術(shù)，高斜坡率和高T穩(wěn)定性
用于CIS/ALS/光傳感器晶圓測試的超低噪聲
應(yīng)用：
CIS/ALS/光傳感器晶圓測試
CIS/ALS/光傳感器晶圓映射和良率檢查
ToF傳感器測試
激光雷達(dá)傳感器測試
InGaAs PD測試
SPAD傳感器測試
光傳感器模擬參數(shù)測試：
量子效率
光譜響應(yīng)
系統(tǒng)增益
靈敏度
動態(tài)范圍
暗電流/噪聲
信噪比
飽和容量
線性誤差（LE）
DCNU（暗電流非均勻性）
PRNU（光響應(yīng)非均勻性）
系統(tǒng)設(shè)計：
SG-O CIS / ALS / Light-Sensor測試儀（晶圓級）系統(tǒng)圖。高度均勻的光源由PC-1控制。光輸出由光纖引導(dǎo)到光學(xué)均化器以產(chǎn)生均勻的光束。顯微鏡和均質(zhì)器由PC-1的自動平移臺控制，以切換位置和功能。Prober系統(tǒng)為MPI TS2000，由PC-2 控制?？ūP臺的位置也由PC-2控制。熱卡盤溫度可控制在-55℃至180℃，涵蓋了大部分 IC測試溫度范圍。光強度由一個Si 光電探測器和一個InGaAs光電探測器通過皮安電流表檢測和校準(zhǔn)。
規(guī)格：
高度均勻的光源
光譜范圍：400nm至1700nm
色溫：3000K至5200K
均勻照明面積：42mmx25mm，工作距離>200mm
照度均勻度：優(yōu)于98%
短期光不穩(wěn)定性：≤1%超過1小時
長期光不穩(wěn)定性：≤1%超過10小時
DUT與后一個光學(xué)組件之間的工作距離：≥200mm工作距離
單色光生成：
10nm FWHM 中心波長：420nm,450nm,490nm,510nm,550nm,570nm,620nm,670nm,680nm,710nm,780nm,870nm
25nm FWHM 中心波長：1010nm,1250nm,1450nm
45±5nm FWHM 中心波長：815nm
50nm FWHM 的中心波長：1600nm
60±5nm FWHM 中心波長：650nm
70±5nm FWHM 的中心波長：485nm,555nm
100±5nm FWHM 的中心波長：1600nm
帶外透光率≤0.01%
帶通區(qū)峰值傳輸≥80%
中心波長容差：(a)≤±2nm；(b)~(g)≤±5nm
FWHM容差：(a)≤±2nm；(b)~(g)≤±5nm
可變衰減器：PC控制的3-decade分辨率，至少1000步
半自動晶圓探針
晶圓尺寸能力：200mm、150mm、100mm晶圓和尺寸大于1cmx1cm的單芯片
晶圓處理：單晶圓，手動進(jìn)料型
半自動化：一步手動對準(zhǔn)教和自動模步進(jìn)
XYZ 平臺
卡盤 XY 載物臺行程：210mmx300mm
卡盤 XY 平臺分辨率：優(yōu)于0.5um
夾頭 XY 平臺精度：優(yōu)于2.0um
卡盤 XY 平臺速度：慢：10微米/秒，快：50毫米/秒
Chuck Z 載物臺行程：50mm
Chuck Z 平臺分辨率：0.2um
卡盤 Z 平臺精度：±2.0um
Theta平臺
Theta載物臺行程：±5度運動范圍
Theta分辨率：優(yōu)于0.01度
Theta精度：0.1度
卡盤
卡盤平整度≤10um
卡盤熱操作：-60°C至200°C
25°C時的卡盤泄漏：25°C時在10V偏壓下每個電壓≤20fA
卡盤剩余電容≤95fF
探針卡
探針卡尺寸：4.5英寸至8英寸長
探針卡座與壓板之間的間隙：≥7.5mm
微型腔室
EMI屏蔽：在 1kHz 至 1MHz 范圍內(nèi)≥30dB
系統(tǒng)交流噪聲：≤ 5mVp -p
微型定位器
顯微鏡
隔振臺
光譜輻照度計
光譜范圍：400nm至1600nm
波長分辨率：400nm到1000nm 增加步長<1nm；1000nm到1600nm 增加步長<3.5nm
校準(zhǔn)：NIST可追溯校準(zhǔn)證書
主要表現(xiàn)
SG-O系統(tǒng)的操作軟件。對于高度均勻光源控制軟件，SG-O提供光源系統(tǒng)控制和光強測量。提供了各個光學(xué)組件的 Labview功能調(diào)色板、驅(qū)動程序/DLL文件。該軟件控制所述平移臺以促進(jìn)照射大是在零件的設(shè)備。集成鏈接的整合包括發(fā)送/接收命令，例如芯片步進(jìn)、芯片對齊/探測等。
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